微流控系统并不是一个新鲜的领域，相对其他微系统来说，微流控发展的相对更早。只不过一方面由于小型化难度过高，另一方面远离消费类应用，专用性较强，因此关注度没有那么高。

微流控系统的应用还是比较多的，生物化学方面，在核酸检测和疫苗研发过程中，液体的定向定量输送贯穿整个化学分析、药物输送、分子识别等过程。又例如，在集成电路冷却方面，晶体管工作时的发热量巨大，液体微通道散热冷却技术依靠微流控实现液体的大流量高流速热量传递。

作为微流控系统的核心器件，微泵的设计至关重要。本文主要针对通过泵体的收缩/扩张实现液体传递的微泵。微泵的致动方式很多，压电、静电、电磁、热驱动等方式，但都是为了实现泵体的体积变化。驱动方式的不同，使微泵在结构设计上会有相应的变化，以适应不同的驱动方式。而对于压电微泵来说，其扁平化的结构有利于微泵的小型化，也可以实现一些比较独特的结构来提高微泵性能。