微型压电泵的概念压电泵是种新型流体驱动器。它不需要附加驱动电机，而是利用压电陶瓷的逆压电效应使压电振子产生变形，再由变形产生泵腔的容积变化实现流体输出或者利用压电振子产生波动来传输液体由于压电泵具有传统泵所不具备的特点，如果能将传统泵的驱动源部分、传动部分及泵体三者合为一体，可实现结构简单、体积小、重量轻、耗能低、无噪声、无电磁干扰，可根据施加电压或频率控制输出微小流量。尽管它的发明与发展仅2O多年的历史，但在航空航天器、机器人、汽车、医疗器械、生物基因工程、微型机械等领域里得到成功的应用。　微型压电泵的应用压电泵是微型泵制造技术的产品，它将带动和影响基础工业的发展与进步。鉴于压电泵有广泛的应用前景，现在世界上许多国家（美国、日本、德国、瑞典、荷兰、新加坡等）都在进行这方面的研究工作,在中国压电泵863计划和国家自然科学基金项目。中国第1部压电泵企业标准与2007年5月由亚通泵业有限公司制定。压电泵是新一代的工业基础产品，可广泛应用于小型移动设备、CPU及显示卡、游戏机控制板、笔记本电脑、刀片服务器、光生伏打电池、LED灯、家电、医疗器械、石化设备、生物医学、汽车和航空电子设备等水冷技术方案的产品配套，它节能、环保，将有效促进相关产业的技术，提高产品配套能力，积极推动工业产业链的形成和发展，社会及经济效益极其显着。压电泵的工作原理压电泵由压电振子、泵阀和泵体组成。工作中，当压电振子两端施加交流电源U时，压电振子在电场作用下径向压缩，内部产生拉应力，从而使压电振子弯曲变形。当压电振子正向弯曲时，压电振子伸长，泵腔容积增大，腔内流体压力减小，泵阀打开，液体进入泵腔；当压电振子向反向弯曲时，压电振子收缩，泵腔容积减小，腔内流体压力增大，泵阀关闭，泵腔液体被挤压排出，形成平缓的连续不断的定向流动。　

微型压电泵技术特点：采用电声陶瓷材料衍生改进制作出高性能压电振子。具有较强的散热稳定性、强度高、韧性好、抗断裂性能好、弹性模量大、抗氧化性强诸多优点，且材料的电气参数具有Kp大，机电转换率高，交流电容抗大，介电常数高，径向振动大等特点本产品结构简单、响应速度快、体积小、无噪音、压力大、扬程高、不泻压、无污染、安装使用方便等特点。　

Bartels 微泵能够输送少量气体或液体，可被认为是微流体的核心。在很多领域内，他们已变得必不可少。将诊断样品移至设备中，润滑剂计量，向传感器中注入样气或将淀粉混合到熨斗蒸汽中只是它们可以完成的众多任务中的几个。还有更进一步的应用领域，例如医疗技术和分析。Bartels微型泵尺寸极小，重量轻，具有良好的颗粒耐受性和耐温性，可以很好地用于这些领域。 由于它们几乎完全由塑料制成，因此可以以低成本大量生产这些泵，因此可以用作一次性用品。Bartels的功能原理基于压电隔膜和被动止回阀。安装在镀铜膜上的压电陶瓷在施加电压时会变形。通过产生的向下的冲程，介质被排出下面的泵室。泵室两边的止回阀决定了流向。当电压减弱时，相应地压电变形引起膜产生向上的冲程。介质被吸入，腔室重新被充满。每一秒，泵可以进行数百次这样的泵送循环。通过调整参数可以影响泵送性能。对于所有用户来说重要优势是泵的设计极其简单：壳体和泵腔的注塑件、压电执行机构和被动阀是关键部件。因此，任何针对流速或背压的特定要求的更改均可以轻松实现。这种拥有匹配的电子控制器的微泵定制是Bartels microComponents提供的服务的一部分。如有需要，泵也完全可以集成在复杂系统的设计中。一旦发现适用于您应用的泵，您可以购买此版本的生产许可证，并自己生产组件。当然，Bartels microComponents也可以为您以低成本实现高质量的批量生产。Bartels微泵mp6 微泵系列 (mp6-liq, mp6-gas, mp6-gas+, mp6-pi and mp6-pp)Bartels微泵mp6系列在一个外壳中放置了两个压电执行器。该版本的泵将新开发的功能与上一代mp5的既定创新点的核心优势结合在一起。这个小电源组可以承受两倍于mp5所能承受的背压，具有更强的启动能力和更高的气泡耐受性。所以即便是泵送气液混合物也没问题。它的低功耗是一个更大的优势。整个泵（mp6-liq, mp6-gas）中只有一种材料会接触到介质，而所有接触介质的材料全是由聚苯砜（PPSU）制成的。mp6-pi的阀箔由聚酰亚胺(PI)制成，其余的接液部件由聚苯砜(PPSU)制成。mp6-pp的阀箔由聚酰亚胺(PI)制成，其余的接液组件由聚丙烯(PP)制成。由于自动装配，mp6-liq，mp6-gas和mp6-pi已经可以以低价格大批量供货。 mp6-pp是半自动生产的，但可以大批量转换为自动化批量生产。

微流控系统并不是一个新鲜的领域，相对其他微系统来说，微流控发展的相对更早。只不过一方面由于小型化难度过高，另一方面远离消费类应用，专用性较强，因此关注度没有那么高。微流控系统的应用还是比较多的，生物化学方面，在核酸检测和疫苗研发过程中，液体的定向定量输送贯穿整个化学分析、药物输送、分子识别等过程。又例如，在集成电路冷却方面，晶体管工作时的发热量巨大，液体微通道散热冷却技术依靠微流控实现液体的大流量高流速热量传递。作为微流控系统的核心器件，微泵的设计至关重要。本文主要针对通过泵体的收缩/扩张实现液体传递的微泵。微泵的致动方式很多，压电、静电、电磁、热驱动等方式，但都是为了实现泵体的体积变化。驱动方式的不同，使微泵在结构设计上会有相应的变化，以适应不同的驱动方式。而对于压电微泵来说，其扁平化的结构有利于微泵的小型化，也可以实现一些比较独特的结构来提高微泵性能。